
混合氣體是由兩種或多種純凈氣體按特定比例組成的均勻混合物,其種類(lèi)劃分既體現(xiàn)科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)性又涵蓋工業(yè)實(shí)用性。從組分構(gòu)成來(lái)看,主要可分為二元混合氣體(如氬氣-二氧化碳焊接保護(hù)氣)、多元混合氣體(如醫(yī)用麻醉氣體中的異氟烷-氧氣-氧化亞氮三元體系),以及添加微量組分的特種混合氣體(如半導(dǎo)體工藝中摻入ppm級(jí)磷化氫的硅烷混合氣)。
按功能特性劃分,混合氣體呈現(xiàn)多維應(yīng)用譜系:工業(yè)領(lǐng)域常見(jiàn)惰性保護(hù)氣體(如氮?dú)浠旌蠚庥糜诠饬镣嘶穑⒎磻?yīng)催化氣體(如合成氨工藝中的氮?dú)浠旌蠚猓?;醫(yī)療領(lǐng)域涵蓋呼吸治療氣體(如氦氧混合氣治療呼吸道阻塞)、麻醉氣體(如七氟醚與氧氣的精確配比);科研領(lǐng)域則涉及校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)氣體(如甲烷-空氣標(biāo)準(zhǔn)氣用于環(huán)保檢測(cè))、激光混合氣(如二氧化碳-氮?dú)?氦氣激光激發(fā)介質(zhì))。
在環(huán)境相關(guān)性層面,混合氣體既包含自然形成的空氣(氮?dú)?氧氣-稀有氣體的動(dòng)態(tài)平衡體系),也涵蓋人為控制的特種混合氣(如深海潛水用的氦氧氖三元混合氣)。其組分比例精度可達(dá)百萬(wàn)分之一級(jí),通過(guò)質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)納米級(jí)配比調(diào)控,在集成電路制造、航天推進(jìn)劑等高新技術(shù)領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用。
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